特許

J-GLOBAL ID：200903083949608121

接着シートならびに半導体装置およびその製造方法

発明者： 川上 広幸 ,  長谷川 雄二
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 津国 肇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-083127
公開番号（公開出願番号）：特開2002-285109
出願日： 2001年03月22日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：

【要約】【課題】 ダイシング工程ではダイシングテープとして作用し、半導体素子と支持部材との接合工程では接続信頼性に優れる、接着シートを提供する。【解決手段】 (A)エポキシ樹脂およびエポキシ樹脂硬化剤、(B)官能性モノマーを含む重量平均分子量が10万以上である高分子量成分、および(C)放射線重合性化合物を含有してなる粘接着層と、表面張力が40mN/mを超える基材層と、を有してなる、熱重合性および放射線重合性を有する接着シートである。

請求項（抜粋）：

(A)エポキシ樹脂およびエポキシ樹脂硬化剤、(B)官能性モノマーを含む重量平均分子量が10万以上である高分子量成分、および(C)放射線重合性化合物を含む粘接着層と、表面張力が40mN/mを超える基材層と、を備えたことを特徴とする熱重合性および放射線重合性接着シート。

IPC (5件)：

C09J 7/02 ,  C09J 4/02 ,  C09J163/00 ,  H01L 21/52 ,  H01L 21/301

FI (5件)：

C09J 7/02 Z ,  C09J 4/02 ,  C09J163/00 ,  H01L 21/52 E ,  H01L 21/78 M

Fターム (46件)：

4J004AA10 ,  4J004AA13 ,  4J004AB04 ,  4J004AB05 ,  4J004AB06 ,  4J004CA04 ,  4J004CA05 ,  4J004CA06 ,  4J004CC02 ,  4J004FA08 ,  4J040DF021 ,  4J040DF022 ,  4J040DF061 ,  4J040DF062 ,  4J040EB002 ,  4J040EC001 ,  4J040EC002 ,  4J040EC041 ,  4J040EC042 ,  4J040EC061 ,  4J040EC062 ,  4J040EC071 ,  4J040EC072 ,  4J040EC121 ,  4J040EC122 ,  4J040FA102 ,  4J040FA132 ,  4J040FA262 ,  4J040FA272 ,  4J040FA282 ,  4J040FA292 ,  4J040GA11 ,  4J040HB03 ,  4J040HB31 ,  4J040HB32 ,  4J040HC21 ,  4J040HC22 ,  4J040KA16 ,  4J040LA01 ,  4J040LA06 ,  4J040LA08 ,  4J040MA02 ,  4J040NA20 ,  5F047BA34 ,  5F047BB03 ,  5F047BB19

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 粘接着テープおよびその使用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-164828   出願人：リンテック株式会社
• 接着シート、その使用方法及び半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-007854   出願人：日立化成工業株式会社
• ウェハ貼着用粘着シート用基材およびウェハ貼着用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-289059   出願人：呉羽化学工業株式会社, リンテック株式会社
• 特開平1-249877
  

引用文献：

審査官引用 (2件)

• 「プラスチック・データブック」, 1999, p.35
• 「高分子の表面化学」, 1968, p.19-22