特許
J-GLOBAL ID：200903083953087772
カセツトチヤンバ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
守谷 一雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-249850
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090385
出願日： 1991年09月27日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】カセットチャンバ内で予め被処理体を処理目的に応じた温度で予備加熱することができ、さらにカセットチャンバ内で被処理体の有無を検知することのできるカセットチャンバを提供すること。【構成】カセットチャンバには加熱板10が備えられるとともにこの加熱板10には接触センサが取り付けられている。一方、カセットチャンバ内でカセットを載置する可動台91と、テーブル8には開口が設けられており、これら開口を通してカセットチャンバ下部から加熱板10を上昇させて、カセットの最下段にある被処理体に接触させる。このとき加熱板10に備えられたセンサは被処理体の有無を検知するとともに加熱板10が被処理体を処理目的に応じた温度で予備加熱する。【効果】カセットチャンバ内で加熱動作と被処理体の位置確認動作を一体に行なうことができ、処理効率が向上できる。
請求項（抜粋）：
被処理体を収納したカセットを収納するカセットチャンバにおいて、前記被処理体を予備加熱する加熱手段を備えたことを特徴とするカセットチャンバ。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65D 85/00
, H01L 21/324
, B65D 85/38
