特許

J-GLOBAL ID：200903083953290195

傾斜調節ミラー

発明者： ヴォルフガング・ジンガー ,  マルクス・ヴァイス ,  アンドレアス・シャイフェルト ,  フランク・メルザー ,  ハインツ・マン
出願人/特許権者： カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
代理人 (4件)： 渡邊 隆 ,  志賀 正武 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-542376
公開番号（公開出願番号）：特表2005-508520
出願日： 2002年10月22日
公開日（公表日）： 2005年03月31日
要約：

反射鏡面5とベアリング装置が設けられた傾斜調節ミラー、それも特に、この傾斜調節ミラー2を複数備えたファセットミラー1において反射鏡切子面2となる傾斜調節ミラーを提供する。反射鏡面5は、球状構成部材3における凹部4内の表面として構成され、球状構成部材3は、ベアリング装置内に設けられている。ベアリング装置は、プレート7内に少なくとも一つの円錐形穴部6を有し、該円錐形穴部6の中には、一つの穴部に対してそれぞれ一つの球状構成部材3が配設されている。

請求項（抜粋）：

反射鏡面とベアリング装置を有する傾斜調節ミラー、特に、この傾斜調節ミラーを複数備えたファセットミラーのための反射鏡切子面とされる傾斜調節ミラーにおいて、 前記反射鏡面(5)は、球状構成部材(3)における凹部(4)の表面として構成され、前記球状構成部材(3)は、前記ベアリング装置内に取り付けられていることを特徴とする傾斜調節ミラー。

IPC (5件)：

G02B7/198 ,  G02B5/10 ,  G02B27/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G02B7/18 B ,  G02B5/10 A ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 531A ,  G02B27/00 U

Fターム (10件)：

2H042DD04 ,  2H042DD05 ,  2H042DE04 ,  2H042DE07 ,  2H043AA02 ,  2H043AA17 ,  2H043AA24 ,  2H043AA25 ,  5F046CB02 ,  5F046GB01

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭62-054210