特許

J-GLOBAL ID：200903083955819533

ポジ型感放射線性組成物

発明者： 田村 一貴 ,  大林 元太郎
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-224212
公開番号（公開出願番号）：特開2001-051420
出願日： 1999年08月06日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】サブクォーターミクロンのパターン加工が可能な解像度を持ち、高感度なポジ型感放射線性組成物を得る。【解決手段】下記一般式(1)および一般式(2)で示される構造単位を含む重合体、および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素またはシアノ基のいずれかを表し、Aは酸素と3級炭素で結合しており、芳香環を含有する有機基を表す。)【化2】(ここでR1、R2は水素原子、炭素数1から30の一価の有機基を表し、R1、R2は同じでも異なっていてもよい。)

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)および一般式(2)で示される構造単位を含む重合体、および放射線の照射によって酸を発生する酸発生剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性組成物。【化1】(ここでXは炭素数1から6のアルキル基、ハロゲン元素またはシアノ基のいずれかを表し、Aは酸素と3級炭素で結合しており、芳香環を含有する有機基を表す。)【化2】(ここでR1、R2は水素原子、炭素数1から30の一価の有機基を表し、R1、R2は同じでも異なっていてもよい。)

IPC (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (10件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AB16 ,  2H025AC05 ,  2H025AC06 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025CB06 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41