特許
J-GLOBAL ID：200903083963476076
チップ状部品の取扱方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小柴 雅昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-210240
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054594
出願日： 1997年08月05日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 エキスパンド性を有しかつ表面に粘着面を形成した保持シート上に粘着によって保持されているチップ状部品を、各々の姿勢を安定させたまま、保持シートから剥がせるようにする。【解決手段】 チップ状部品12と対向する領域をカバーするように分布する複数の吸引溝15,16と、これら吸引溝15,16間であって各チップ状部品12に対して少なくとも2箇所において部分的に対向するように位置する突起17とを有する、載置台11上に保持シート14を載置し、吸引溝15,16に負圧を付与することによって、保持シート14を突起17に沿うように変形させてチップ状部品12から剥がそうとするとき、まず、チップ状部品12の周縁部に対向する吸引溝15に付与される負圧24をより強くし、チップ状部品12の周縁部から保持シート14が剥がれるようにする。
請求項（抜粋）：
エキスパンド性を有しかつ表面に粘着面を形成した保持シート上に配置されながら前記粘着面が与える粘着性により保持されている複数のチップ状部品を、前記保持シートから剥がすように取り扱う、チップ状部品の取扱方法であって、各前記チップ状部品と対向する各領域を少なくともカバーするように分布する複数の吸引溝を有するとともに、複数の前記吸引溝間であって各前記チップ状部品に対して少なくとも2箇所において部分的に対向するように位置する突起を形成した、載置台を用意する、第1の工程と、複数の前記チップ状部品を保持している前記保持シートを前記載置台上に載置する、第2の工程と、前記吸引溝に負圧を付与し、それによって、前記保持シートを前記突起に沿うように変形させて前記チップ状部品から剥がす、第3の工程とを備え、前記第3の工程は、各前記チップ状部品の周縁部から前記保持シートが剥がれるように、複数の前記吸引溝の各々に付与される負圧を制御する負圧制御工程を含むことを特徴とする、チップ状部品の取扱方法。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/50
, H01L 21/301
H01L 21/68 E
, H01L 21/50 C
, H01L 21/78 Y
