特許
J-GLOBAL ID：200903083965436748
多層薄膜の膜厚測定方法と、その方法を用いた光学情報記録媒体の製造方法及び光学情報記録媒体の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池内 寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-166026
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009829
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：
【要約】【課題】 光学情報記録媒体の各薄膜層の膜厚測定を容易にし、成膜速度測定に伴う生産ロスを少なくした光学情報記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】 基板又はサンプル片上に複数の薄膜をそれぞれ所定の成膜速度及び成膜時間により順次成膜し、成膜後の基板又はサンプル片上の多層薄膜の分光反射率を測定し、分光反射率の測定値とあらかじめ定められた分光反射率の標準値とを比較しそれらの差異を検出する。検出された差異に応じて成膜速度及び成膜時間の少なくとも一方を補正し、新たな基板上に複数の薄膜をそれぞれ補正された成膜速度及び成膜時間により順次成膜する。
請求項（抜粋）：
基板上に設けられたそれぞれ光学定数の異なる複数の薄膜からなる多層薄膜の膜厚測定方法であって、前記多層薄膜の分光反射率を測定し、測定結果をあらかじめ定められた標準値と比較し、測定結果と標準値との差異に基づいて各層の膜厚を求める多層薄膜の膜厚測定方法。
IPC (2件)：
G01B 11/06
, G11B 7/26 531
G01B 11/06 Z
, G11B 7/26 531
