特許
J-GLOBAL ID：200903083969070152
質量流量計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
富澤 孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-331294
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149767
出願日： 1991年11月20日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：
【要約】【目的】 少量の流体の質量流量を高い精度で計測できること。【構成】 定温度駆動方式の質量流量計において、感熱コイルR1,R2の出力電圧をゼロドリフト調整を行なう補正回路10とゲイン調整を行なう温度補正回路11とに直列して接続させている。また、ゼロドリフト補正を感熱コイルR1,R2の出力電圧の和をガス温度の指標として用いて演算を行っている。
請求項（抜粋）：
内部を流体が流れる導管と、該導管の周囲に互いに独立して巻かれ流体の温度に応じて抵抗値が変化する2つの抵抗体と、該抵抗体の温度を一定に保ちながら抵抗体に与えられるエネルギの差から該導管を流れる流体の質量流量を演算する制御手段とを有する質量流量計において、前記制御手段が、前記流体の質量流量がゼロのときには、周囲温度が変化しても前記エネルギ差が一定になるようにゼロドリフト演算を行うことを特徴とする質量流量計。
引用特許：
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