特許
J-GLOBAL ID：200903083969699123
パターン検査装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-044208
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240628
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：
【要約】【目的】第1の発明の目的は、短い検査時間で処理できる高解像力のパターン検査装置を提供することであり、第2の本発明の目的は、参照鏡のキャリブレーションを容易に自動で行い、さらには参照鏡を移動させることで2次元の画像を再現するパターン検査装置を提供することである。【構成】干渉計と顕微鏡とから構成されるパターン観察用干渉顕微鏡装置を備えたパターン検査装置において、第1の発明では、パターン観察用干渉顕微鏡装置の照明光32として複数の異なる波長の単色光を用いたことを特徴とするものであり、また第2の発明では、パターン観察用干渉顕微鏡装置の参照鏡35を少なくとも光軸方向に移動させるかあるいは光軸に対して傾ける駆動機構41を設けたことを特徴としている。
請求項（抜粋）：
干渉計と顕微鏡とから構成されるパターン観察用干渉顕微鏡装置を備えたパターン検査装置において、前記パターン観察用干渉顕微鏡装置の照明光として複数の異なる波長の単色光を用いたことを特徴とするパターン検査装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01B 9/04
, G06F 15/62 405
, H01L 21/66
