ガス供給ユニット

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富澤孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-180383
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026300
出願日： 1996年07月10日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】構成物品間の継手やパイプ等の接続部品等をなくした小型のガス供給ユニット、また手動弁等のメンテナンスを簡便なものとしたガス供給ユニットを提供するこ。【解決手段】本発明のガス供給ユニットは、第一開閉弁4、第二開閉弁6と、マスフローコントローラ5、パージ弁7、及びフィルタ8とが、流路の形成された各ブロックに対して所定の方向からネジ止めされて一体的に構成されたマスフローユニットを有するものであって、また供給ガスの供給または遮断を手動で行うための手動弁1と、供給ガスのガス圧を調整するレギュレータ2と、供給ガスの圧力をモニターするための圧力計3とが、流路の形成された固定ブロック11,12,13を介して一体に固定された加圧系ユニットが、マスフローユニット側へ連通する流路が形成されたベース9に対して、固定ブロック11,12,13を所定の方向からネジ止めしたものである。

請求項（抜粋）：

供給ガスの搬送管路上にあって供給ガスの流れを遮断する第一開閉弁及び第二開閉弁と、その第一及び第二開閉弁の中間にあって供給ガスの流量を制御するマスフローコントローラと、そのマスフローコントローラに置換ガスを供給するパージ弁と、供給ガスの混入不純物を除去するためのフィルタとが、流路の形成された各ブロックに対して所定の方向からネジ止めされて一体的に構成されたマスフローユニットを有するガス供給ユニットにおいて、前記供給ガスの供給または遮断を手動で行うための手動弁と、前記供給ガスのガス圧を調整するレギュレータと、前記供給ガスの圧力をモニターするための圧力計とが、流路の形成された固定ブロックを介して一体に固定された加圧系ユニットを有し、前記マスフローユニット側へ連通する流路が形成されたベースに対して、前記固定ブロックを前記所定の方向からネジ止めしたものであることを特徴とするガス供給ユニット。

引用特許：

審査官引用 (1件)

ガス供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045929 出願人：株式会社東芝, シーケーディ株式会社

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