特許

J-GLOBAL ID：200903083977763264

電子ビーム検査装置

発明者： 川浪 義実 ,  米山 明男 ,  長谷川 正樹
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-186254
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031472
出願日： 1997年07月11日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】【課題】分解能が高く、かつ高速に試料像を観察・検査可能な電子ビーム検査装置を提供する。【解決手段】電子ビーム3を複数の開口を有する制限絞り4によって複数の分離した電子ビームの束3′にすると同時に、ビーム分布関数を予め記憶した上記電子ビーム束3′の配置を使ってデルタ関数を合成して形成し、上記多重の試料像を上記ビーム分布関数でデコンボリューション演算することで単一の試料像にする。

請求項（抜粋）：

電子ビームを試料上で走査して得られた試料像を基準画像と比較して試料の異常を検出する電子ビーム検査装置において、上記電子ビームを上記試料上で複数の電子ビームに分離させ、かつ上記複数の電子ビームを連動して走査可能にする手段と、上記複数の電子ビームを上記試料上で走査して得た多重の試料像を、上記複数の電子ビームの配置を用いた演算により単一の像にする手段を有することを特徴とする電子ビーム検査装置。

IPC (6件)：

H01J 37/256 ,  G01B 15/00 ,  H01J 37/147 ,  H01J 37/22 502 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (7件)：

H01J 37/256 ,  G01B 15/00 B ,  H01J 37/147 B ,  H01J 37/22 502 B ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 502 V ,  H01L 21/30 541 U