特許
J-GLOBAL ID：200903083980417717
ダイシング方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 尚純
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-260333
公開番号（公開出願番号）：特開2001-085365
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 切断によって形成されたペレットの飛散によって生ずる切削ブレードの破損を防止することができるダイシング方法を提供する。【解決手段】 所定角度をもってして形成された複数個の第1のストリート11aと第2のストリート11bとを有する被加工物を、ブレード支持部材の片側面外周部に設けられた環状の切れ刃を有する切削ブレード54により、第1のストリートおよび第2のストリートに沿って切削するダイシング方法であって、第1のストリートを切削した後に第2のストリートを切削するときには、切削ブレード54を基台541側が被加工物の未加工領域側に向くように位置付けて行う。
請求項（抜粋）：
平行に形成された複数個の第1のストリートと該第1のストリートと所定角度をもって交差する方向に平行に形成された複数個の第2のストリートとを有する被加工物を、基台の片側面外周部に設けられた環状の切れ刃を有する切削ブレードにより、該第1のストリートおよび該第2のストリートに沿って切削するダイシング方法であって、該被加工物を該第1のストリートが切削送り方向になるように位置付け、該被加工物と該切削ブレードを切削送り方向に相対的に移動する切削送りと、該第1のストリートの間隔に対応して該被加工物と該切削ブレードを切削送り方向と直交する割り出し送り方向に相対的に移動する割り出し送りとを順次繰り返して、複数個の第1のストリートを切削する第1の切削工程と、該第1の切削工程が終了した後、該被加工物を所定角度回転して該第2のストリートが切削送り方向になるように位置付けるとともに、該切削ブレードを該基台側が該被加工物の未加工領域側に向くように該被加工物の片側縁に位置付ける回転位置付け工程と、該回転位置付け工程が終了した後、該被加工物と該切削ブレードを切削送り方向に相対的に移動する切削送りと、該第2のストリートの間隔に対応して該被加工物と該切削ブレードを切削送り方向と直交する割り出し送り方向に相対的に移動する割り出し送りとを順次繰り返して、複数個の第2のストリートを切削する第2の切削工程と、を含む、ことを特徴とするダイシング方法。
FI (2件)：
H01L 21/78 Q
, H01L 21/78 F
