特許
J-GLOBAL ID:200903083995331070
形状測定方法及び装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
恩田 博宣
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-178524
公開番号(公開出願番号):特開平6-147806
出願日: 1991年07月18日
公開日(公表日): 1994年05月27日
要約:
【要約】【目的】 任意の曲線形状の壁面における形状誤差を測定し得る形状誤差測定装置を提供する。【構成】 ベース1上には回転駆動装置3が設置され、回転駆動装置3上のターンテーブル3aが軸線L0 を中心に回転駆動装置3内のサーボモータ2によって回転駆動される。昇降スタンド4には昇降枠5が昇降可能に取り付けられ、昇降枠5には支持アーム7がターンテーブル3aの回転平面方向へ移動可能に支持される。支持アーム7はサーボモータ8によって直線駆動され、支持アーム7の先端にはプローブヘッド9が取り付けられている。その探触子15がターンテーブル3aの回転平面に対して平行に回動変位可能に支持されており、探触子15の回動角変位はプローブヘッド9内のロータリエンコーダ17によって検出される。サーボモータ2,8はベース1内の制御コンピュータCによって駆動制御され、制御コンピュータCは探触子15の回動角変位情報及びスクロール部材18の予め設定された壁面形状に基づいて形状誤差を割り出す。
請求項(抜粋):
スクロール部材のスクロール壁の一部を形成するインボリュート曲線の基礎円の半径中心をスクロール部材の測定用回転中心とし、スクロール部材の回転平面に対して平行に回動変位可能な探触子を備えたプローブヘッドの直線移動制御及びスクロール部材の回転制御によってスクロール部材のスクロール壁に前記探触子を摺接させ、探触子の回動角変位データからスクロール壁の形状を測定する形状測定方法。
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