特許

J-GLOBAL ID：200903083996874514

ウエハ測定用ボード

発明者： 沢井 康夫
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 紋田 誠 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-126513
公開番号（公開出願番号）：特開2000-314747
出願日： 1999年05月07日
公開日（公表日）： 2000年11月14日
要約：

【要約】【課題】 テストシステムのテスタ、テストボード12自体のチェックや、テストプログラムのデバッグを行うための、ソケット基板を不要とすると共に、完成品IC、ICソケットの脱着をピンの挿脱によることなく、任意に行うこと。【解決手段】 テストシステムのテスタ40、テストボード12自体のチェックや、テストプログラムのデバッグを行う際には、テストボード12上に設けられた有接点多重スイッチ33を閉操作して、完成品ICを載置したICソケット34と外部接続端子32との間を接続する。また、終了した場合にはこの有接点多重スイッチを開操作してICソケットと第1端子群との間を遮断し、ウエハ23の測定を行う。

請求項（抜粋）：

一面側に外部接続用の第1端子群が環状に配置され、他面側に前記第1端子群と導電接続されている第2端子群が配置されると共に、前記環状に配置された第1端子群の内部領域に、ICを載置するICソケットと、該ICソケットと前記第1端子群との間を接続遮断する有接点多重スイッチとが設けられたテストボードと、一面側の前記テストボ-ドの他面側に配置されている前記第2端子群と対応する位置に第3端子群が設けられると共に、他面側にプローブ針が前記第3端子群と導電接続されかつ選択的に設けられているプローブカードとを備え、前記テストボードと前記プローブカードとを一体的に結合することを特徴とするウエハ測定用ボード。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 1/073 E ,  G01R 31/26 J ,  H01L 21/66 B

Fターム (16件)：

2G003AA10 ,  2G003AG01 ,  2G003AG04 ,  2G003AG17 ,  2G003AH06 ,  2G011AA17 ,  2G011AC08 ,  2G011AC11 ,  2G011AE03 ,  2G011AF04 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DD01 ,  4M106DD10 ,  4M106DD11