特許
J-GLOBAL ID:200903083999145491

外観検査装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡部 敏彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-195766
公開番号(公開出願番号):特開平9-021621
出願日: 1995年07月10日
公開日(公表日): 1997年01月21日
要約:
【要約】【目的】 1台のカメラ(撮像手段)により高精度に外観検査を行えるようにする。【構成】 検査対象物の外観を撮像する撮像手段を有し、該撮像手段により得られた撮像信号に基づいて外観検査を行う外観検査装置において、前記検査対象物の互いに離間した検査領域から出射された光を前記撮像手段の視野内に収束させる光偏向手段を設けた。
請求項(抜粋):
検査対象物の外観を撮像する撮像手段を有し、該撮像手段により得られた撮像信号に基づいて外観検査を行う外観検査装置において、前記検査対象物の互いに離間した検査領域から出射された光を前記撮像手段の視野内に収束させる光偏向手段を設けたことを特徴とする外観検査装置。
IPC (4件):
G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G01N 21/89 ,  H04N 7/18
FI (4件):
G01B 11/24 C ,  G01N 21/88 A ,  G01N 21/89 A ,  H04N 7/18 B
引用特許:
審査官引用 (4件)
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