特許
J-GLOBAL ID：200903083999805890

ネガ型感光性樹脂組成物

発明者：
高梨 博

高梨 博 について

, 
工藤 知哉

工藤 知哉 について


出願人/特許権者：
東京応化工業株式会社

東京応化工業株式会社 について


代理人 (1件)： 長谷川 洋子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-144018
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341534
出願日： 2001年05月14日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：
【要約】【課題】 CRT用シャドウマスク、ICチップ搭載用リードフレーム等の製造におけるエッチング用ホトマスクの形成など、精密加工に有用なケミカルミーリングに好適に適用され、特に耐エッチング性に極めて優れる、非クロム系のネガ型感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 (A)下記一般式(I)〔式中、R1はHまたは-CH3、R2はマイケル付加反応可能なエチレン性二重結合を有する置換、非置換の炭化水素基(骨格中にカルボニル基、イミノ基、エーテル性酸素原子のうちの少なくとも1種を有していてよい)〕で表される構成単位を含むポリマーに、アミノ基および/またはイミノ基を含有する有機ケイ素化合物をマイケル付加反応させて得られるバインダーポリマーと、(B)光重合性モノマーとして、特定の(メタ)アクリルアミドメチレン基含有化合物と、(C)光重合開始剤を含有するネガ型感光性樹脂組成物。
請求項（抜粋）：
(A)(a-1)下記一般式(I)〔式中、R1は水素原子またはメチル基を表し、R2はマイケル付加反応可能な二重結合を有する置換、非置換の炭化水素基を表す(ただし、該炭化水素基は、その骨格中に、以下に示す各基の中から選ばれる少なくとも1種の基を有していてもよい)〕で表される構成単位を含むポリマーに、(a-2)アミノ基および/またはイミノ基を含有する有機ケイ素化合物、をマイケル付加反応させて得られるバインダーポリマー、(B)強酸触媒の存在下、(b-1)分子中に少なくとも1つのアルコール性水酸基を含有する化合物と、(b-2)下記一般式(II)(式中、R3は水素原子またはメチル基を表し、R4は水素原子または炭素原子数1〜4のアルキル基を表す)で表される化合物、とを反応させて得られる、下記一般式(III)(式中、R3は、上記と同じ意味を表す)で表される(メタ)アクリルアミドメチレン基含有化合物、および(C)光重合開始剤を含有する、ネガ型感光性樹脂組成物。
IPC (8件)：
G03F 7/038 501 ,  C08F 2/44 ,  C08F 8/32 ,  C08F 20/00 ,  C08F265/00 ,  G03F 7/027 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 511
FI (8件)：
G03F 7/038 501 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 8/32 ,  C08F 20/00 ,  C08F265/00 ,  G03F 7/027 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 511
Fターム (47件)：
2H025AA00 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC15 ,  2H025BC32 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025CA01 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J011PA69 ,  4J011PB40 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J026AA43 ,  4J026AA45 ,  4J026AC26 ,  4J026AC36 ,  4J026BA27 ,  4J026BA28 ,  4J026BA30 ,  4J026BA32 ,  4J026CA02 ,  4J026CA03 ,  4J026CA04 ,  4J026DA02 ,  4J026DA07 ,  4J026DB24 ,  4J026DB36 ,  4J026GA07 ,  4J100AJ02P ,  4J100AL03Q ,  4J100AL03R ,  4J100AL09S ,  4J100BA03H ,  4J100BA11H ,  4J100BA28H ,  4J100BA38H ,  4J100BA77H ,  4J100CA01 ,  4J100CA05 ,  4J100CA06 ,  4J100HA11 ,  4J100HC51 ,  4J100HC78
引用特許：
審査官引用 (5件)
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