特許
J-GLOBAL ID：200903084002027245

多段式真空ポンプ

発明者：
三浦 篤之

三浦 篤之 について

, 
谷口 裕哉

谷口 裕哉 について


出願人/特許権者：
アイシン精機株式会社

アイシン精機株式会社 について


代理人 (1件)： ▲高▼橋 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-334924
公開番号（公開出願番号）：特開平10-159775
出願日： 1996年11月30日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】 安価なシステムにより、前記単段ポンプの背圧真空度を改善し、排気速度の低下を防止し、駆動力の増加を抑制すること。【解決手段】 隣り合う単段ポンプ1ないし4の吸入口と排気口とを排気管23ないし25によって接続して直列に連結される複数の個別の単段ポンプ1ないし4と、個別の単段ポンプ1ないし4をそれぞれ駆動する個別のモータ5ないし8と、前記単段ポンプ1ないし4の回転数を可変にする駆動手段9ないし12とから成り、前記大気側に接する前記単段ポンプ4を大容量とした多段式真空ポンプ。
請求項（抜粋）：
隣り合う単段ポンプの吸入口と排気口とを排気管によって接続して直列に連結される複数の個別の単段ポンプと、個別の単段ポンプをそれぞれ駆動する個別のモータと、少なくとも大気側に接する前記単段ポンプの回転数を可変にする駆動手段と、大気側に接する前記単段ポンプを駆動するモータの駆動電流を検出する駆動電流検出手段とから成ることを特徴とする多段式真空ポンプ。
IPC (3件)：
F04C 23/00 ,  F04B 49/06 341 ,  F04C 25/02
FI (3件)：
F04C 23/00 E ,  F04B 49/06 341 E ,  F04C 25/02 B
引用特許：
審査官引用 (6件)
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