特許
J-GLOBAL ID：200903084005176322
X-Yテーブルの駆動装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
今井 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-275344
公開番号（公開出願番号）：特開平6-099327
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】 同期機形ブラシレスリニヤモータで駆動されるX-Yテーブルの駆動装置に関する。【構成】 X方向テーブル2とY方向テーブル4自体の側縁部の両面に、それぞれ移動方向にN極とS極を等間隔で交互に形成させた永久磁石からなる可動側磁極6a、6bおよび7a、7bを設け、テーブルを挟んで各可動側磁極に対向する固定側磁極8a、8bおよび11a、11bを設ける。両面の固定側磁極相互の位置を半ピッチずらせてコギングトルクを打ち消す。また、テーブル両面の空隙を調整して磁気吸引力の差によりテーブルの荷重を負担させる。【効果】 駆動装置が小形になり、コギングトルクや磁気吸引力の影響をなくすことができ、テーブルの移動が円滑になる。
請求項（抜粋）：
基板上にX軸方向に移動するように支持されたX方向テーブルと、X方向テーブル上でY軸方向に移動するように支持されたY方向テーブルをそなえ、前記各テーブル側縁部の両面に、それぞれ移動方向にN極とS極を等間隔で交互に形成させた永久磁石からなる可動側磁極を設け、前記各テーブル両面の可動側磁極に対向して、移動方向に複数の磁性歯を有し励磁コイルを巻装した固定側磁極をそなえたことを特徴とするX-Yテーブルの駆動装置。
IPC (3件)：
B23Q 1/18
, B23Q 5/28
, H02K 41/03
