特許

J-GLOBAL ID：200903084009074656

照明光学装置および該照明光学装置を備えた露光装置

発明者： 谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-090958
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274060
出願日： 1998年03月19日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：

【要約】【課題】 開口絞りにおける光損失を良好に抑えつつ輪帯照明や4極照明のような変形照明を行う。【解決手段】 第1オプティカルインテグレータ(3)と第2オプティカルインテグレータ(7)との間の光路中には、第1オプティカルインテグレータ(3)により形成される第1多数光源からの光束に基づいて、第2オプティカルインテグレータ(7)の入射面に関して基準光軸(AX)に対し偏心した複数の照射領域を形成するプリズム光学系(4、5)が配置されている。プリズム光学系(4、5)は、複数の照射領域の位置を調整可能に構成されている。

請求項（抜粋）：

光束を供給するための光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて多数の光源からなる第1多数光源を形成するための第1オプティカルインテグレータと、該第1オプティカルインテグレータにより形成される第1多数光源からの光束に基づいてより多数の光源からなる第2多数光源を形成するための第2オプティカルインテグレータと、該第2オプティカルインテグレータにより形成される第2多数光源からの光束を集光して被照射面を照明するためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学装置において、前記第1オプティカルインテグレータと前記第2オプティカルインテグレータとの間の光路中には、前記第1オプティカルインテグレータにより形成される第1多数光源からの光束に基づいて、前記第2オプティカルインテグレータの入射面に関して基準光軸に対し偏心した複数の照射領域を形成するプリズム光学系が配置され、前記プリズム光学系は、前記複数の照射領域の位置を調整可能に構成されていることを特徴とする照明光学装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/04 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 5/04 F ,  G03F 7/20 521