特許

J-GLOBAL ID：200903084013877623

基板検査システムおよび基板検査方法

発明者： 中島 康晴
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-168387
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012365
出願日： 2002年06月10日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：

【課題】マクロ検査とミクロ検査とを効率良く運用できる基板検査システムおよび基板検査方法を提供する。【解決手段】被検査基板14に対するマクロ検査を実施して、被検査基板のマクロ欠陥を検出し、マクロ欠陥の分布情報15を出力する自動マクロ検査装置11と、この装置から出力された分布情報15を記憶する記憶装置12と、被検査基板に対するミクロ検査を実施して、ミクロ欠陥を検出するミクロ検査装置13とを備える。ミクロ検査装置は、ミクロ検査を実施する前に、記憶装置に記憶された分布情報15を参照して、被検査基板のうちマクロ欠陥が分布している領域ではミクロ検査の実施を省略する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検査基板に対するマクロ検査を実施して、前記被検査基板のマクロ欠陥を検出し、該マクロ欠陥の分布情報を出力する自動マクロ検査装置と、 前記自動マクロ検査装置から出力された前記マクロ欠陥の分布情報を記憶する記憶装置と、 前記被検査基板に対するミクロ検査を実施して、ミクロ欠陥を検出するミクロ検査装置とを備え、 前記ミクロ検査装置は、前記ミクロ検査を実施する前に、前記記憶装置に記憶された前記マクロ欠陥の分布情報を参照して、前記被検査基板のうち前記マクロ欠陥が分布している領域では前記ミクロ検査の実施を省略する ことを特徴とする基板検査システム。

IPC (2件)：

G01N21/956 ,  H01L21/66

FI (2件)：

G01N21/956 A ,  H01L21/66 J

Fターム (35件)：

2F065AA03 ,  2F065AA22 ,  2F065AA23 ,  2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065FF04 ,  2F065FF48 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ31 ,  2F065TT03 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC02 ,  2G051CA04 ,  2G051CA11 ,  2G051CB05 ,  2G051DA07 ,  2G051DA13 ,  2G051DA15 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051ED08 ,  2G051ED21 ,  4M106AA01 ,  4M106CA39 ,  4M106CA42 ,  4M106DA15 ,  4M106DB21 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ26