特許
J-GLOBAL ID：200903084016040066
ゴニオメータ型光学的測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
縣 浩介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134957
公開番号（公開出願番号）：特開平7-318480
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 試料の微小領域の測定に適した集光式のゴニオメータ光学装置で試料面の方向の設定を容易にする。【構成】 上記装置は試料への光入射側に集光光学系を、試料からの出射光側に試料出射光を受光素子上に集めるテレメータ光学系を持っており、試料の光照射点と受光素子とは結像上の共役関係にあるので、試料の傾きを変えても試料からの出射光は受光素子上に集まり、試料の傾きが分かり難い。そこでテレメータレンズと受光素子との間に補助レンズを挿入して、集光点を受光素子から離した。【作用】 このようにすると、試料の傾きを変えたとき、光束はこの集光点を支点として振れ、受光素子への入射光量が変るので、傾きの設定がやり易くなる。
請求項（抜粋）：
試料面に光を収束させて試料面を照射し、試料からの放射光を受光面に集光させて測定を行う型のゴニオメータにおいて、試料からの放射光を受光面に集光させるテレメータ光学系の上記照射光収束点の像に対して受光面を相対的に前後させる手段を設けたことを特徴とするゴニオメータ型光学的測定装置。
IPC (3件)：
G01N 21/01
, G01N 21/21
, G01N 21/55
