特許
J-GLOBAL ID:200903084021033710
流体加熱装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
米原 正章 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-244793
公開番号(公開出願番号):特開平7-098152
出願日: 1993年09月30日
公開日(公表日): 1995年04月11日
要約:
【要約】【目的】 ハロゲンランプ等の大出力のランプヒータを複数本用いた場合において、高出力、高効率、コンパクト化、長寿命にすることができる。【構成】 加熱部2と流体供給調整部3とからなり、かつ加熱部2は、両端を側板5,5にて閉じた筒状の外管6内に、側板5,5を貫通して内管7を設け、さらに外管6に流入管8と流出管9とを設け、かつ石英ガラスからなる加熱容器2aの上記内管7内にランプヒータを挿入した構成にした流体加熱装置において、加熱容器2aの各隣接する内管相互の対向面管距離L1 及びL2 を15〜30mmに、加熱容器2aの内面と内管7との対向面管距離L3 を7.5〜15mmにした。
請求項(抜粋):
加熱部2と流体供給調整部3とからなり、かつ加熱部2は、両端を側板5,5にて閉じた筒状の外管6内に、側板5,5を貫通して内管7を設け、さらに外管6に流入管8と流出管9とを設け、かつ石英ガラスからなる加熱容器2aの上記内管7内にランプヒータを挿入した構成にした流体加熱装置において、加熱容器2aの各隣接する内管相互の対向間距離L1 及びL2 を15〜30mmに、加熱容器2aの内面と内管7との対向面距離L3 を7.5〜15mmにしたことを特徴とした流体加熱装置。
IPC (5件):
F24H 1/10
, B08B 3/10
, C25D 21/02
, H01L 21/304 341
, B05C 9/10
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