特許
J-GLOBAL ID：200903084021644018
マイクロプラズマ生成装置および方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
平山 一幸
, 海津 保三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-088070
公開番号（公開出願番号）：特開2005-276618
出願日： 2004年03月24日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 微小領域でプラズマを生成し必要な箇所にプラズマを照射できるマイクロプラズマ生成装置および方法を提供する。【解決手段】 移動用ステージ3に保持させて、真空チャンバー4内にプラズマ生成部2を配置する。プラズマ生成部2は、外側円筒電極内に絶縁管を介して内側円筒電極を同軸上に配設して形成する。ガスチューブ5を介して内側円筒電極から外側円筒電極内に導入したガスを、電源6でパルス放電させてプラズマを生成する。この生成したプラズマをガス流とともに真空チャンバー4内に噴出させて、マイクロプラズマ10を得る。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
真空チャンバー内にプラズマ生成部を具備し、
上記プラズマ生成部は、内側円筒電極と、該内側円筒電極と同軸になるように配設した外側円筒電極と、該外側円筒電極と上記内側円筒電極との間に配設した絶縁管とを備え、上記内側円筒電極の一端が、上記外側円筒電極内に位置しており、
上記内側円筒電極を通して上記外側円筒電極内に導入したガスを放電させてプラズマをを生成し、この生成したプラズマを上記真空チャンバー内に噴出させてマイクロプラズマを得ることを特徴とする、マイクロプラズマ生成装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05H1/24
, H01L21/302 101E
5F004AA02
, 5F004AA06
, 5F004BA20
, 5F004BB11
, 5F004DA21
出願人引用 (2件)
審査官引用 (5件)
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引用文献：
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