特許

J-GLOBAL ID：200903084034954105

レーザ加工方法、該レーザ加工方法を用いたインクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法で製造されたインクジェット記録ヘッド

発明者： 小出 純
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-188146
公開番号（公開出願番号）：特開2001-198684
出願日： 2000年06月22日
公開日（公表日）： 2001年07月24日
要約：

【要約】【課題】副生成物の発生がなく、レーザ加工中に変換された熱エネルギーが樹脂等の被加工物に蓄積されることを根本的に防止して、加工物に融解、熱膨張を生じさせることなく、高精細に加工することができるレーザ加工方法、該レーザ加工方法を用いたインクジェット記録ヘッドの製造方法、該製造方法で製造されたインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】フェムト秒レーザを用い、所定の間隔で配される複数の加工形状を同時に昇華加工し、または2種類以上の異った材質の材料を同一工程でほぼ同時に昇華加工し、またはレーザ光の光波長において透明な被加工物の内部にて所定エネルギー密度以上に集光し、あるいは被加工物の内部に位置する材料(B)に照射して、昇華加工する。

請求項（抜粋）：

レーザ光を被加工物に照射することによって被加工物にレーザアブレーション加工を施すレーザ加工方法において、前記レーザ光として1ピコ秒以下のパルス放射時間にて発振するレーザ発振器から放射される空間的時間的なエネルギー密度が非常に大きい、複数パルスのレーザ光を用い、所定の間隔で配される複数の加工形状を同時に形成することを特徴とするレーザ加工方法。

IPC (4件)：

B23K 26/00 ,  B41J 2/05 ,  B41J 2/16 ,  B23K101:36

FI (5件)：

B23K 26/00 N ,  B23K 26/00 G ,  B23K101:36 ,  B41J 3/04 103 B ,  B41J 3/04 103 H

Fターム (19件)：

2C057AF93 ,  2C057AG12 ,  2C057AG33 ,  2C057AP02 ,  2C057AP13 ,  2C057AP23 ,  2C057AP24 ,  2C057AQ01 ,  2C057AQ02 ,  2C057AQ03 ,  2C057AQ06 ,  2C057BA03 ,  2C057BA13 ,  4E068AD00 ,  4E068CA03 ,  4E068CA04 ,  4E068CD10 ,  4E068DA09 ,  4E068DB14