水晶基板及び水晶基板の重量変化測定方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-033426
公開番号（公開出願番号）：特開平8-228123
出願日： 1995年02月22日
公開日（公表日）： 1996年09月03日
要約：

【要約】【目的】水晶振動子の周波数が安定しており、水晶振動子の周波数変化による水晶基板の重量変化測定に適した水晶基板を提供する。また、水晶基板上に形成された膜の面内分布を測定することのできる水晶基板を提供する。【構成】水晶基板1の一方の面上において、電極形成領域と、水晶基板の支持部材が当接する領域と、の間の領域に水晶基板の略1/3以上の深さを有して前記電極領域が包含される溝部12を形成し、この溝部の内部領域を前記水晶基板の振動領域する。

請求項（抜粋）：

水晶基板の一方の面上において、電極形成領域と、水晶基板の支持部材が当接する領域と、の間の領域に水晶基板の略1/3以上の深さを有して前記電極領域が包含される溝部を形成し、この溝部の内部領域を前記水晶基板の振動領域としたことを特徴とする水晶基板。

IPC (2件)：

H03H 9/19 , G01L 1/10

FI (2件)：

H03H 9/19 B , G01L 1/10 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-063007
特開昭49-131690
特開平4-063007

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