特許
J-GLOBAL ID：200903084041721183
ワークとマスクの間隙設定方法、及び間隙設定機構
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-168703
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074096
出願日： 1994年06月29日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】ワークとマスクの平行に、かつ、一定の間隙を持って位置させるための間隙設定方法、及び機構において、製造コストが安く、容易に製造する。【構成】ワークを、ワークとマスクが接触しない状態で、ワークステージ10に保持させ、ワークとマスクが接触する方向に、ワークステージ及び/又はマスクを保持したステージを移動させ、ワークとマスクが接触しても、移動を続ける。ワークとマスクが接触し実質的にそれ以上に相対的移動ができなくなった時点から、前記移動手段からの駆動力を吸収して変位し始める調整機構40が所定量の変位をしたときに、それぞれの調整機構はシステムコントローラに信号を送る。システムコントローラが、全ての調整機構から信号を受信した時をワークとマスクの平行状態とする。その後、所定の距離だけワークステージ及び/又はマスクステージを移動方向と反対方向に移動させて所望の間隙を作る。
請求項（抜粋）：
ワークとマスクを平行に、かつ、一定の間隙を持って位置させるための間隙設定方法において、まず、ワークを、ワークとマスクが接触しない状態で、ワークステージに保持させ、次に、ワークとマスクが接触する方向に、ワークステージ及び/又はマスクを保持したマスクステージを移動手段により移動させ、ワークとマスクが接触しても、なお、当該移動を続けて、ワークステージ又はマスクステージに少なくとも3つ設けられた、ワークとマスクが接触し実質的にそれ以上に当該相対的移動ができなくなった時点から、前記移動手段からの駆動力を吸収して変位し始める調整機構が、所定量の変位をしたときに、それぞれの調整機構がシステムコントローラに信号を送り、システムコントローラが、全ての調整機構から当該信号を受信した時を、ワークとマスクの平行状態として、当該ワークステージ及び/又はマスクステージの移動を停止するとともに、かつ、各々の調整機構において、その時の変位状態を保持させて、その後、所定の距離だけワークステージ及び/又はマスクステージを前記移動方向とは反対方向に移動させて所望の間隙を作ることを特徴とするワークとマスクの間隙設定方法。
IPC (2件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
