特許
J-GLOBAL ID：200903084061094690
磁気記録媒体の製造方法および薄膜の製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-094855
公開番号（公開出願番号）：特開平8-287459
出願日： 1995年04月20日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、デジタルビデオテープレコーダや高精細度ビデオテープレコーダに最適の強磁性金属薄膜を磁気記録層とする磁気記録媒体の製造方法及び薄膜の製造装置に関するもので、水分及び溶媒を含まない潤滑剤層を形成することで、高温高湿保存後のスチルライフの向上とドロップアウト数の低減を両立した磁気記録媒体を得ることを目的とする。【構成】 潤滑剤9を充填するための蒸発源8に超音波振動を与えることにより、潤滑剤粒子を飛散、蒸発させ、潤滑剤層を形成する磁気記録媒体の製造方法。
請求項（抜粋）：
真空蒸着法によって潤滑剤層を形成する磁気記録媒体の製造方法に於いて、潤滑剤を充填する蒸発源に超音波振動を与えることにより、前記潤滑剤を蒸発させることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B 5/84 B
, C23C 14/24 S
