特許
J-GLOBAL ID：200903084065989730
単結晶引き上げ装置及び単結晶引き上げ方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
二瓶 正敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-055739
公開番号（公開出願番号）：特開2000-247783
出願日： 1999年03月03日
公開日（公表日）： 2000年09月12日
要約：
【要約】【課題】 晶癖線を係止することなく単結晶を係止して引き上げ可能にする。【解決手段】 半導体単結晶2の径大部2bの近傍をCCDカメラ20により撮像して画像処理ユニット21により晶癖線2dを判定し、回転中の晶癖線2dの円周方向の位置を測定する。次いでくびれ係止部15をCCDカメラ20により撮像して画像処理ユニット21によりくびれ係止部15の円周方向の位置を判定して溝15bの円周方向の位置を測定して、回転中の溝15bの回転方向の位置が晶癖線2dと一致するように、くびれ係止部15の回転速度を制御して位置合わせし、位置合わせが完了すると、くびれ係止部15の回転速度を半導体単結晶2と同じにしてくびれ係止部15の先端を閉じる。
請求項（抜粋）：
単結晶を回転させながら引き上げる引き上げ手段と、単結晶の表面に引き上げ方向に沿って形成される晶癖線に当接しないように対向して設けられた複数の把持部を有し、前記把持部が開閉可能な係止手段と、前記係止手段が開いた状態で回転中及び引き上げ中の単結晶の表面上の晶癖線の円周方向の位置に対して前記把持部が一致するように前記係止手段の回転速度を制御して位置合わせを行い、位置合わせ完了後に前記係止手段が単結晶と同一速度で回転するように制御し、同一速度状態で前記係止手段を閉じる制御手段とを、有する単結晶引き上げ装置。
Fターム (5件)：
4G077AA02
, 4G077BA04
, 4G077CF10
, 4G077EG11
, 4G077PH01
