インクジェットプリントヘッドの製造方法及びインクジェットプリントヘッド

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村茂信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-095496
公開番号（公開出願番号）：特開平5-286131
出願日： 1992年04月15日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【目的】 PZT素子の高密度・高精度実装、PZT素子の薄膜化、PZT膜の低温焼成を可能にする。【構成】多数の個別インク路2を形成したヘッド基台1上に、ITO電極(共通電極5)付きの振動板3を接合し、個別インク路2上に位置する共通電極5上の部分にPZTオクチル酸塩混合物をスクリーン印刷してPZTを成膜し、その後にPZT膜を焼成してPZT素子4とし、各PZT素子4上に個別電極6を設け、次いで各PZT素子4を分極させる。

請求項（抜粋）：

多数の個別インク路を有するヘッド基台に取付けた振動板上に、PZTオクチル酸塩混合物をスピンコートしてPZTを成膜し、次いで個別インク路上に位置する振動板上の各部分にPZT膜が残るようなパターンでPZT膜をエッチングするか、若しくは個別インク路上に位置する振動板上の各部分にPZTオクチル酸塩混合物をスクリーン印刷してPZTを成膜し、その後にPZT膜を焼成し、更にPZT膜をそれぞれ分極させることにより振動板上にPZT素子を形成することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方法。

IPC (4件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/24

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/22 A

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