特許

J-GLOBAL ID：200903084094768068

感放射線性樹脂組成物

発明者： 西村 幸生 ,  石井 寛之 ,  西村 功 ,  小林 英一
出願人/特許権者： JSR株式会社
代理人 (1件)： 和気 操
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-072984
公開番号（公開出願番号）：特開2003-270787
出願日： 2002年03月15日
公開日（公表日）： 2003年09月25日
要約：

【要約】【課題】 短波長の放射線に対する透明性が高く、現像液に対する溶解性に優れ、感度、パターン形状、エッチング耐性に優れる。【解決手段】 酸の作用によりアルカリに対する溶解性を増加させる官能基を有する樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、その樹脂が、下記式(1)で表される側鎖を有する。【化1】(式(1)において、R1は炭化水素基または酸素含有炭化水素基であり、Xは上記樹脂の主鎖と連結する基である。)

請求項（抜粋）：

酸の作用によりアルカリに対する溶解性を増加させる官能基を有する樹脂と、感放射線性酸発生剤とを含有する感放射線性樹脂組成物であって、前記樹脂は、下記式(1)で表される側鎖を有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【化1】(式(1)において、R1は炭化水素基または酸素含有炭化水素基であり、Xは前記樹脂の主鎖と連結する基である。)

IPC (5件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/26 ,  C08F 22/06 ,  C08F 32/04 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/039 601 ,  C08F 20/26 ,  C08F 22/06 ,  C08F 32/04 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (30件)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB10 ,  2H025CB41 ,  2H025FA17 ,  4J100AK32R ,  4J100AL08P ,  4J100AR11Q ,  4J100BA05P ,  4J100BA06P ,  4J100BA10P ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BC53P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA01 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA38 ,  4J100DA39 ,  4J100JA38