特許

J-GLOBAL ID：200903084100761267

感光性ポリイミド前駆体用現像液及びその回収方法

発明者： 藤本 康二 ,  吉村 利夫
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-110593
公開番号（公開出願番号）：特開2000-305280
出願日： 1999年04月19日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】本発明は、現像工程で引火などの恐れがなく、非防爆装置で安全に使用できる感光性ポリイミド用現像液を提供することにあり、また、感光性ポリイミド前駆体に使用できる現像液を提供することにある。【解決手段】双極性非プロトン性極性溶剤60〜80重量%とエステル10〜30重量%と水10〜30重量%とからなる感光性ポリイミド前駆体用現像液。

請求項（抜粋）：

双極性非プロトン性極性溶剤60〜80重量%とエステル10〜30重量%と水10〜30重量%とからなることを特徴とする感光性ポリイミド前駆体用現像液。

IPC (11件)：

G03F 7/32 ,  C08F 2/44 ,  C08F 2/48 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/17 ,  C08L 79/08 ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027

FI (12件)：

G03F 7/32 ,  C08F 2/44 C ,  C08F 2/48 ,  C08G 73/10 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/17 ,  C08L 79/08 A ,  G03F 7/027 501 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/30 502 R ,  H01L 21/30 569 E

Fターム (109件)：

2H025AA00 ,  2H025AB15 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC34 ,  2H025BC35 ,  2H025BC87 ,  2H025CA01 ,  2H025CA20 ,  2H025CA26 ,  2H025CA27 ,  2H025CB25 ,  2H025FA03 ,  2H025FA15 ,  2H025FA29 ,  2H096AA00 ,  2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA04 ,  2H096HA01 ,  2H096LA17 ,  2H096LA25 ,  4J002CM04 ,  4J002EA067 ,  4J002EE037 ,  4J002EH147 ,  4J002EN026 ,  4J002EN097 ,  4J002EN107 ,  4J002EN117 ,  4J002EP016 ,  4J002ES017 ,  4J002EU217 ,  4J002EV307 ,  4J002FD157 ,  4J002FD200 ,  4J002GQ00 ,  4J011AA05 ,  4J011AA09 ,  4J011AA10 ,  4J011AC04 ,  4J011HA02 ,  4J011HA04 ,  4J011HA08 ,  4J011PA97 ,  4J011PB40 ,  4J011QA03 ,  4J011QA06 ,  4J011SA22 ,  4J011SA25 ,  4J011SA26 ,  4J011SA28 ,  4J011SA29 ,  4J011SA61 ,  4J011SA62 ,  4J011SA63 ,  4J011SA64 ,  4J011SA82 ,  4J011UA01 ,  4J011UA03 ,  4J011UA04 ,  4J011WA01 ,  4J043PA02 ,  4J043PA19 ,  4J043PC065 ,  4J043QB31 ,  4J043RA34 ,  4J043SA06 ,  4J043SA43 ,  4J043SB01 ,  4J043TA14 ,  4J043TB01 ,  4J043UA121 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UB011 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB141 ,  4J043UB152 ,  4J043UB221 ,  4J043UB301 ,  4J043VA011 ,  4J043VA041 ,  4J043VA051 ,  4J043VA081 ,  4J043VA091 ,  4J043YA06 ,  4J043ZA22 ,  4J043ZA23 ,  4J043ZA60 ,  4J043ZB50 ,  5F046BA01 ,  5F046CA07 ,  5F046DA02 ,  5F046LA12 ,  5F046LA14 ,  5F046LA18