特許
J-GLOBAL ID：200903084115731488
光デバイス及びその製造方法、並びに、ポリイミド膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小池 隆彌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-195388
公開番号（公開出願番号）：特開2000-347054
出願日： 1999年07月09日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 小型軽量化が容易で、光透過性に優れた安価な光デバイスおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 基板1上に感光性ポリイミド溶液を塗布し、加熱して溶媒を揮発させるた後に、所望の形状にフォトリソによりエッチングを行う。その後、感光性ポリイミド3の最終の焼成を真空中で行う。光の透過率が大きく、損失の小さい光デバイスを容易に作製することが可能となり、基板上に形成される種々の有機高分子を用いた光デバイスに適応できる。
請求項（抜粋）：
有機高分子を用いた光デバイスの製造方法において、基板上に塗布した有機高分子を含有する溶液の焼成を、真空中で行うことを特徴とする光デバイスの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (13件)：
2H047KA04
, 2H047PA02
, 2H047PA21
, 2H047PA24
, 2H047PA28
, 2H047QA05
, 2H047TA01
, 2H047TA43
, 4J043RA34
, 4J043ZA51
, 4J043ZA52
, 4J043ZB21
, 4J043ZB22
