特許

J-GLOBAL ID：200903084120549078

弾性表面波素子の製造方法

発明者： 目黒 利浩 ,  池田 剛 ,  藤本 晴彦 ,  尾崎 恭輔 ,  和賀 聡 ,  佐々木 真
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (2件)： 野▲崎▼ 照夫 ,  三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-295319
公開番号（公開出願番号）：特開2006-014260
出願日： 2004年10月07日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：

【課題】電極間の短絡のないくし歯状電極部を確実に形成し、同時にくし歯状電極部の両側部を保護する側壁層を容易に形成することのできる弾性表面波素子の製造方法を提供する【解決手段】マスク層23をマスクとして、イオンミリング法を用いて導電層21を削り、くし歯状電極部13、14を形成する。この工程において、くし歯状電極部13、14の側面にマスク層23の材料を含む第1側壁層24が付着形成される。イオンミリング時における基板温度は約100°Cである。このように、本発明では導電層21のエッチングと第1側壁層24の形成を同時に行なうことができる。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

以下の工程を有することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法、 (a)圧電性基板の上に導電層を成膜する工程と、 (b)前記導電層の上に、マスク層をくし歯状電極部と同型の平面形状にパターン形成する工程と、 (c)前記マスク層をマスクとして、イオンミリング法を用いて前記導電層を削ってくし歯状電極部を形成し、前記くし歯状電極部の側面に前記マスク層の材料を含む第1側壁層 を形成する工程。

IPC (5件)：

H03H 3/08 ,  H03H 9/145 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18

FI (5件)：

H03H3/08 ,  H03H9/145 Z ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A

Fターム (7件)：

5J097AA24 ,  5J097BB01 ,  5J097DD01 ,  5J097GG03 ,  5J097GG04 ,  5J097KK01 ,  5J097KK09

引用特許：

出願人引用 (2件)

• イオンミリング法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-195695   出願人：富士通株式会社
• フレーム同期回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-212006   出願人：株式会社日立国際電気

審査官引用 (4件)

• 特開平1-045246
  
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-161504   出願人：京セラ株式会社
• イオンミリング法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-195695   出願人：富士通株式会社
• 特開平4-235404