特許

J-GLOBAL ID：200903084124825894

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 黒田 浩史
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-211417
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033373
出願日： 1999年07月27日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 μm級の微細な対象物の観察を行える走査型プローブ顕微鏡での測定を探針摩耗の問題を起こすことなく高い測定精度で行える。【解決手段】 探針14による試料表面の走査を行わせるためのXYスキャナ12と、サンプリング位置で探針を試料表面に接近させ、サンプリング位置の間の移動では探針を試料表面から退避させる圧電素子18と、サンプリング位置での測定動作でサーボ制御系に基づき探針と試料表面との間の距離を設定された基準距離に保つサーボ用圧電素子17と、サンプリング位置の間の探針の移動の際、直前のサンプリング位置での測定値に対応する電圧でサーボ用圧電素子の状態を保持する制御装置25を備える。測定箇所が一定間隔で離散的な複数のサンプリング位置として定められ、サンプリング位置の間の移動の際には探針は退避させられ試料表面から離れた状態で移動する。

請求項（抜粋）：

試料の表面に臨む探針を備え、前記探針と前記試料の間を所定距離に保持しながら前記表面を前記探針で走査して前記表面を測定する走査型プローブ顕微鏡において、前記探針による前記試料の表面の走査を行う移動機構と、サンプリング位置で前記探針を前記試料の表面に接近させ、前記サンプリング位置の間の移動では前記探針を前記試料の表面から退避させる駆動装置と、前記サンプリング位置での測定動作でサーボ制御系に基づき前記探針と前記試料の表面との間の距離を設定された基準距離に保つサーボ用圧電素子と、サンプリング位置の間の探針の移動の際、直前のサンプリング位置での測定値に対応する電圧で前記サーボ用圧電素子の状態を保持する制御手段と、からなることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (5件)：

G01N 13/10 ,  G01B 21/30 ,  G05D 3/00 ,  G05D 3/12 ,  H01L 41/09

FI (6件)：

G01N 13/10 B ,  G01B 21/30 Z ,  G05D 3/00 G ,  G05D 3/12 H ,  G05D 3/12 S ,  H01L 41/08 U

Fターム (40件)：

2F069AA54 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069DD06 ,  2F069DD15 ,  2F069DD19 ,  2F069DD20 ,  2F069GG02 ,  2F069GG06 ,  2F069GG15 ,  2F069GG35 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG56 ,  2F069GG62 ,  2F069HH04 ,  2F069JJ04 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069MM04 ,  2F069MM11 ,  2F069MM24 ,  2F069MM32 ,  2F069PP02 ,  2F069QQ05 ,  5H303AA20 ,  5H303BB03 ,  5H303BB09 ,  5H303BB12 ,  5H303BB17 ,  5H303CC10 ,  5H303DD03 ,  5H303DD14 ,  5H303DD19 ,  5H303EE03 ,  5H303EE07 ,  5H303FF03 ,  5H303GG11 ,  5H303HH01 ,  5H303HH07