特許
J-GLOBAL ID：200903084128193973
マイクロ波電源装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-080355
公開番号（公開出願番号）：特開平9-274998
出願日： 1996年04月02日
公開日（公表日）： 1997年10月21日
要約：
【要約】【課題】 プラズマ生成室4内の広い空間にマイクロ波を放出するためにプラズマ生成室4に複数のアンテナ5を配置した場合に使用するマイクロ波電源装置の小型化・低コスト化を図る。【解決手段】 マイクロ波電源装置は、アンテナ数と同数のマグネトロン21...と、複数のマグネトロン21...に同時に駆動電力を供給する一式の共通駆動電源(ヒータ電源22およびアノード電源23)とを備えている。
請求項（抜粋）：
処理室に設けられた複数のマイクロ波導入部にマイクロ波を供給するマイクロ波電源装置において、上記マイクロ波導入部の数と同数のマイクロ波発生手段と、複数のマイクロ波発生手段に同時に駆動電力を供給する少なくとも一つの共通駆動電源とを備えていることを特徴とするマイクロ波電源装置。
IPC (5件)：
H05H 1/46
, H01J 27/16
, H01J 37/08
, H01J 37/248
, H03B 9/10
H05H 1/46 B
, H01J 27/16
, H01J 37/08
, H01J 37/248 Z
, H03B 9/10
