特許
J-GLOBAL ID:200903084128686325

記録媒体及びその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 田辺 恵基
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-240604
公開番号(公開出願番号):特開平9-063131
出願日: 1995年08月25日
公開日(公表日): 1997年03月07日
要約:
【要約】【課題】1つの製造装置及び製造ラインを用いて複数規格の製品を製造し得る記録媒体及びその製造方法を実現し難かつた。【解決手段】所定形状の第1の物質の表面上にフオトレジストを塗布することによりレジスト層を形成し、当該レジスト層を主感度範囲外の波長の光で予め露光するようにして低感度化させるようにしたことにより、入射光が形成するビームスポツトのうちのエネルギーの高い領域部分だけを感光させることができる。従つてフオトレジストを低感度化させるためにレジスト層に照射する光の波長及び照射時間等を調整するようにしてレジスト層の感度を調整することにより、レジスト層に種々のパターンの潜像を形成でき、かくして1つの製造装置及び製造ラインを用いて複数規格の製品を製造し得るようにすることのできる記録媒体及びその製造方法を実現できる。
請求項(抜粋):
所定形状の第1の物質と、上記第1の物質の表面上に積層形成された、主感度範囲外の波長の光で予め露光されることにより、上記光で露光されていない場合に比べて低感度化されたフオトレジストからなるレジスト層とを具え、上記レジスト層を記録情報に応じて上記フオトレジストの上記主感度波長の光で露光するようにして上記レジスト層に上記記録情報を記録することを特徴とする記録媒体。

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