特許

J-GLOBAL ID：200903084130756047

加速度センサ

発明者： 柴谷 博志 ,  松本 朋子 ,  杉原 忠
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-056452
公開番号（公開出願番号）：特開平9-005353
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【課題】 温度依存性がなく、しかも構造が簡単で故障が少ない加速度センサーを提供する。【解決手段】 加速度により変位する錘部22と、この錘部22を梁部23を介して支持する支持部21とを具備する加速度センサにおいて、該錘部22を光透過性の材料で構成すると共に、光束を該錘部に向けて照射する光出射手段5と、この光出射手段5から照射されて錘部22を透過した透過光を検出する受光手段6とをそれぞれ錘部22から離間して配設して光透過型とする。この場合、錘部22と梁部23とをカバー3,4で封入すると共に、光出射手段5及び受光手段6をカバー3,4に設けるとよい。また、錘部22を集光可能な形状にしたり、錘部22に光を複数回透過させるリターン透過型にすることも可能である。

請求項（抜粋）：

加速度により変位する錘部と、この錘部を梁部を介して支持する支持部とを具備する加速度センサにおいて、前記錘部を光透過性の材料で構成するとともに、該錘部に向けて光を照射する光出射手段と、この光出射手段から出射され該錘部を透過した透過光を検出する受光手段とを、それぞれ該錘部から離間して配設したことを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/08 ,  G01P 15/02 ,  G01P 21/00

FI (3件)：

G01P 15/08 A ,  G01P 15/02 A ,  G01P 21/00