特許
J-GLOBAL ID：200903084141676312
電圧測定装置および電圧測定方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田中 浩 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-276338
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233928
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：
【要約】【課題】 ホール効果装置およびピエゾ抵抗装置における不平衡電圧を減じ、ホール電圧とピエゾ抵抗電圧とを分離する。【解決手段】 シリコン等の半導体を用いた類似したホール効果装置とピエゾ抵抗装置におけるホール電圧とピエゾ抵抗電圧とを分離するために、ホール素子中のオフセット低減に用いる多電流技法を拡張して用いる。実施態様では、単純な剪断応力を加えたときにホール電圧接続部間に発生する対角外れピエゾ抵抗電圧の除去を行うために、オフセット補償方法として、4つの別々の電流源から注入された2軸4重注入電流を用いて方向の平均化を行う。この技法を用いると、[110]方向に電流が注入される(001)面シリコン型装置においてもオフセットが1mTより充分弱い磁界と等価な値に抑えられたSi型ホール素子が実現できる。光発電作用を用いた複数電流源を実現する簡単な方法も検討した。
請求項（抜粋）：
磁気ホール電圧、剪断力ピエゾ抵抗電圧およびその他の対角外れ電圧の中の少なくとも1つを測定する電圧測定装置であって、1つ以上の電流が注入および/または1つ以上の電圧が印加される平坦な素子を具備し、上記素子は、1つ以上の境界線部と、この境界線部に位置しかつ複数の第1の軸の上にあって上記の磁気ホール電圧、剪断力ピエゾ抵抗電圧およびその他の対角外れ電圧の中の少なくとも1つを測定するための第1の接続部の対と、上記第1の軸とは異なる複数の第2の軸の上にあって電流の差が注入または電圧の差が印加される第2の接続部の対と、を具えたものである、電圧測定装置。
IPC (5件)：
G01R 33/07
, G01L 9/06
, G01R 19/00
, G01R 21/08
, H01L 43/14
G01R 33/06 H
, G01L 9/06
, G01R 19/00 K
, G01R 21/08
, H01L 43/14
