感光性樹脂組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鍬田充生
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-360957
公開番号（公開出願番号）：特開2003-162064
出願日： 2001年11月27日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】感度及び解像度を両立させて向上でき、かつ耐ドライエッチング性の高い感光性材料を提供する。【解決手段】感光性樹脂組成物を、慣用の感光性樹脂(特に、ポジ型感光性樹脂)とポリシランとで構成する。ポリシランは、下記式(1)〜(3)で表される構造単位を少なくとも有する構造であってもよい。【化1】(式中、R1〜R3は、同一又は相異なって、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、アリール基、アラルキル基を示し、m,n,pは正の整数を示す。)前記感光性樹脂は、水又はアルカリ現像可能であってもよく、樹脂と感光剤(例えば、キノンジアジド類、光酸発生剤など)とで構成されていてもよい。

請求項（抜粋）：

感光性樹脂とポリシランとで構成されている感光性樹脂組成物。

IPC (3件)：

G03F 7/075 511 , C08G 77/60 , H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 7/075 511 , C08G 77/60 , H01L 21/30 502 R

Fターム (14件)：

2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BF15 , 2H025CB29 , 2H025CB32 , 2H025CC08 , 2H025FA17 , 4J035JA01 , 4J035JB01 , 4J035LA03 , 4J035LB16

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-113021
特開昭64-056732

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