特許

J-GLOBAL ID：200903084160051919

濃度測定装置

発明者： 加藤 光雄 ,  田浦 昌純 ,  牟田 研二 ,  徳田 君代 ,  藤村 皓太郎
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-096046
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185814
出願日： 1997年04月14日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】ガス状物質濃度と固体粒子物質濃度とを同時に測定することのできる濃度測定装置。【解決手段】測定対象に対して該測定対象中のガス状物質に固有な吸収波長のレーザ光を照射する光源部10と、この光源部10から発振されるレーザ光の波長に変調を加えるための波形発生器20と、前記測定対象を通過したレーザ光を受光し、光強度を検出する受光部30と、検出された光強度から前記測定対象の透過率を検出する直流成分検出器41と、検出された光強度とレーザ光に加えられた変調成分とから前記測定対象中のガス状物質による光吸収量を検出する位相敏感検波器41と、検出された透過率と光吸収量とから前記測定対象中のガス状物質濃度と固体粒子濃度とを検出する濃度演算器42とを具備してなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

測定対象中のガス状物質に固有な吸収波長のレーザ光を照射する光源部と、この光源部から発振されるレーザ光の波長に変調を加えるための変調信号発生器と、前記測定対象を通過したレーザ光を受光し、光強度を検出する受光部と、検出された光強度から前記測定対象の透過率を検出する直流成分検出器と、検出された光強度とレーザ光に加えられた変調成分とから前記測定対象中のガス状物質による光吸収量を検出する位相敏感検波器と、検出された透過率と光吸収量とから前記測定対象中のガス状物質濃度と固体粒子濃度とを演算する濃度演算器とを具備してなることを特徴とする濃度測定装置。