特許

J-GLOBAL ID：200903084171499458

炭化珪素被覆黒鉛部材

発明者： 上井 敏治 ,  牛嶋 裕次
出願人/特許権者： 東海カーボン株式会社
代理人 (1件)： 福田 保夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-114412
公開番号（公開出願番号）：特開2000-302577
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】CVD法により気相析出したSiC被膜が黒鉛基材面に強固に被着され、優れた耐熱衝撃性を備え、例えば半導体製造における熱処理用部材として好適な炭化珪素被覆黒鉛部材を提供すること。【解決手段】 黒鉛基材面にCVD法によりSiC被膜を被着した黒鉛部材であって、黒鉛基材が平均気孔径0.4〜3μm 、最大気孔径10μm 以上の気孔性状を備え、該黒鉛基材に被着したSiC被膜の平均粒径が3μm 以下、かつ最小粒径が1μm 以下の粒子性状を有することを特徴とする炭化珪素被覆黒鉛部材。SiC被膜は黒鉛基材面の気孔中に50μm 以上の深さまで侵入して被着され、また黒鉛基材の最大気孔径は100μm 以下、であることが好ましい。

請求項（抜粋）：

黒鉛基材面にCVD法によりSiC被膜を被着した黒鉛部材であって、黒鉛基材が平均気孔径0.4〜3μm 、最大気孔径10μm 以上の気孔性状を備え、該黒鉛基材に被着したSiC被膜の平均粒径が3μm 以下、かつ最小粒径が1μm 以下の粒子性状を有することを特徴とする炭化珪素被覆黒鉛部材。

IPC (2件)：

C04B 41/87 ,  C23C 16/42

FI (2件)：

C04B 41/87 V ,  C23C 16/42

Fターム (8件)：

4K030AA02 ,  4K030AA06 ,  4K030AA09 ,  4K030AA17 ,  4K030BA37 ,  4K030CA01 ,  4K030CA11 ,  4K030LA11

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-261120
  
• 特開昭62-261120