特許
J-GLOBAL ID:200903084172159294
圧電アクチュエータ
発明者:
,
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-279397
公開番号(公開出願番号):特開2000-092876
出願日: 1998年09月14日
公開日(公表日): 2000年03月31日
要約:
【要約】【目的】 金属製シムと同等の変位量が得られるように設計しても、発生力が大きく、共振周波数が高い圧電アクチュエータを提供する。標記圧電アクチュエータは、長時間駆動させても高信頼性が保てるという特性をも有する。【構成】 シム,圧電板,シムと圧電板とを接合する接着層からなる圧電アクチュエータにおいて、無電解メッキを形成した繊維強化樹脂をシムとして用いる。無電解メッキについてはニッケルメッキが、繊維強化樹脂にはカーボン繊維強化樹脂が好適である。
請求項(抜粋):
シム,圧電板,シムと圧電板とを接合する接着層からなる圧電アクチュエータにおいて、無電解メッキを形成した繊維強化樹脂をシムとして用いることを特徴とする圧電アクチュエータ。
IPC (4件):
H02N 2/00
, B32B 5/28
, H01L 41/09
, C23C 18/16
FI (4件):
H02N 2/00 C
, B32B 5/28 Z
, C23C 18/16 A
, H01L 41/08 M
Fターム (49件):
4F100AB16A
, 4F100AB16B
, 4F100AB16C
, 4F100AD00A
, 4F100AD00C
, 4F100AD11B
, 4F100AK25G
, 4F100BA03
, 4F100BA06
, 4F100BA10A
, 4F100BA10C
, 4F100CB00
, 4F100DG01B
, 4F100DH01B
, 4F100EH71A
, 4F100EH71B
, 4F100EH71C
, 4F100EJ34B
, 4F100EJ54G
, 4F100GB41
, 4F100JB14G
, 4K022AA13
, 4K022AA15
, 4K022AA16
, 4K022AA17
, 4K022AA18
, 4K022AA20
, 4K022AA36
, 4K022AA41
, 4K022BA01
, 4K022BA03
, 4K022BA14
, 5H680AA02
, 5H680AA12
, 5H680BB13
, 5H680DD23
, 5H680DD24
, 5H680DD53
, 5H680DD82
, 5H680FF08
, 5H680FF16
, 5H680GG02
, 5H680GG11
, 5H680GG15
, 5H680GG16
, 5H680GG20
, 5H680GG23
, 5H680GG24
, 5H680GG42
引用特許:
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