特許

J-GLOBAL ID：200903084173074500

アライメント方法、アライメント装置、露光装置、及び露光方法

発明者： 高橋 顕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 前田 均 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-025857
公開番号（公開出願番号）：特開2001-217180
出願日： 2000年02月03日
公開日（公表日）： 2001年08月10日
要約：

【要約】【課題】 アライメント対象物のアライメントに要する時間を短縮する。【解決手段】 主制御系59のメモリ67には、カメラ56を含むサーチ計測系とカメラ58を含むファイン計測系との光学特性の関係を示す特性データが予め記憶保持されている。主制御系59は、サーチ計測時の照明に関する最適データである第1照明データを例えば予備検出により獲得し、第1照明データに従って照明してサーチ計測を実施した後に、該サーチ計測の結果に基づいて対象物11の姿勢をファイン計測可能なように調整し、第1照明データを特性データに従って換算してファイン計測時の照明に関する最適データである第2照明データを求め、この第2照明データに従って照明してファイン計測を実施した後に、対象物11の姿勢を所定の基準に整合するように調整する。

請求項（抜粋）：

対象物に形成されたマークの位置を計測して該対象物のアライメントを行うアライメント方法であって、前記マークをラフ計測する第1計測系と、該マークを該ラフ計測よりも高精度なファイン計測する第2計測系との間の光学特性の関係を示す特性データを獲得するステップと、ラフ計測時の照明に関する最適データである第1照明データを獲得するステップと、前記第1照明データに従って照明してラフ計測を実施するステップと、前記ラフ計測の結果に基づいて前記対象物の姿勢をファイン計測可能なように調整するステップと、前記第1照明データを前記特性データに従って換算してファイン計測時の照明に関する最適データである第2照明データを求めるステップと、前記第2照明データに従って照明してファイン計測を実施するステップと、を含むことを特徴とするアライメント方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 W ,  H01L 21/30 525 X

Fターム (31件)：

5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CB01 ,  5F046CB05 ,  5F046CB08 ,  5F046CB19 ,  5F046CB23 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC05 ,  5F046DA01 ,  5F046DA02 ,  5F046DB01 ,  5F046DC12 ,  5F046EA02 ,  5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046EB03 ,  5F046ED03 ,  5F046FA01 ,  5F046FA04 ,  5F046FA07 ,  5F046FA10 ,  5F046FA14 ,  5F046FA16 ,  5F046FA17 ,  5F046FA20 ,  5F046FB10 ,  5F046FC04 ,  5F046FC07