特許
J-GLOBAL ID：200903084174764349
流体の脱気装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-125393
公開番号（公開出願番号）：特開平10-314503
出願日： 1997年05月15日
公開日（公表日）： 1998年12月02日
要約：
【要約】【課題】 小型に構成されると共に、流体の脱気が十分に行われるようにした、流体の脱気装置を提供すること。【解決手段】 貯蔵源から加圧されて流体が圧送される供給ライン11中に順次に設けられた第一のタンク12及び第二のタンク20と、第一のタンク12に設けた脱気促進手段13を備える。
請求項（抜粋）：
貯蔵源から加圧されて流体が圧送される供給ライン中に順次に設けられた第一のタンク及び第二のタンクと、前記第一のタンクに設けられる脱気促進手段とを備えていることを特徴とする流体の脱気装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 19/00 Z
, H01L 21/30 569 A
