特許

J-GLOBAL ID：200903084175753596

電子線装置およびその観察方法

発明者： 大高 正 ,  大蔵 昭光 ,  岩本 寛 ,  戸所 秀男 ,  菰田 孜
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立計測エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-335981
公開番号（公開出願番号）：特開平5-151924
出願日： 1991年11月27日
公開日（公表日）： 1993年06月18日
要約：

【要約】【目的】 導電性材料と絶縁材料とによって構成されている半導体試料のコンタクトホールの底部からの2次電子を効率良く検出して良好な2次電子像を得る。【構成】 対物レンズ2は、その漏れ出し磁場が試料の表面12aで最大磁束密度を示すように下磁極開放形となっており、磁界Bが発生する。コンタクトホール50の開口部近傍の試料面から放出された2次電子は、第1電極7による電界によって上方へ引き上げられ、対物レンズ2によるレンズ作用によって中心軸X上に収束される。コンタクトホール50の底部50aから放出された2次電子は、第1電極7による電界に引き上げられてコンタクトホール50を脱出する。コンタクトホール外に脱出した2次電子13は、対物レンズ2によるレンズ作用によって中心軸X上に収束される。

請求項（抜粋）：

試料上の観察領域で電子線スポットを走査し、当該観察領域から2次的に発生する信号を取り込んで観察像を得る電子線装置において、試料表面に収束磁場を形成する対物レンズと、対物レンズの磁極孔を貫通するように設けられ、試料より発生した2次電子を対物レンズの電子源側に導く電界を発生する円筒状電極と、前記電子源側に導かれた2次電子を検出する2次電子検出手段とを具備したことを特徴とする電子線装置。

IPC (2件)：

H01J 37/244 ,  H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭64-052370
  
• 特開昭63-138640
  
• 特開平1-197951
  
• 特開昭64-052370