特許
J-GLOBAL ID：200903084180536544
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-078781
公開番号（公開出願番号）：特開平6-265345
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：
【要約】【目的】 試料表面の微小な凹凸等の試料観察を可能にするとともに、測定領域を容易に指定することができるようにして測定時間を短縮させる。【構成】 試料1が光学顕微鏡装置7の解像力を越えたとき、画像処理手段14は光学顕微鏡装置7からの信号を画像処理して試料1の表面の形状を可視化し、表示装置10に可視像を表示する。入力装置11bにより表示装置10に表示された画像にて走査型トンネル電流顕微鏡による測定箇所を指定すると、プロ-ブ制御手段13は指定された測定箇所に探針5を相対移動させ、測定箇所で走査型トンネル電流顕微鏡の測定を行わせる。
請求項（抜粋）：
試料の表面の画像を作成する低分解能測定手段と、探針を前記試料表面に対して相対走査し、前記試料表面のミクロ的な画像を得る高分解能測定手段とを備えた走査型プロ-ブ顕微鏡において、前記試料が前記低分解能測定手段の解像力を越えたとき、前記低分解能測定手段からの信号を画像処理して前記試料の表面の形状を可視化する画像処理手段と、この画像処理手段により作成された画像を表示する表示手段と、この表示手段に表示された前記画像にて前記高分解能測定手段による測定箇所を指定する入力手段と、指定された前記測定箇所に前記探針を相対移動させ、前記測定箇所で前記高分解能測定手段の測定を行わせるプロ-ブ制御手段とを備えていることを特徴とする走査型プロ-ブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
