特許
J-GLOBAL ID：200903084186484244
弾性表面波共振子及び共振子型フィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-177691
公開番号（公開出願番号）：特開平10-022765
出願日： 1996年07月08日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】圧電性基板上に形成した櫛形電極で構成されるSAW共振子のインピーダンス特性で、共振周波数と反共振周波数との間で不要スプリアスが発生し、SAW共振子の特性劣化、および、SAW共振子を組み合わせた共振子型フィルタでは、通過帯域に影響を与え、損失劣化を引き起こす。【解決手段】圧電性基板上に形成したSAW共振子の櫛形電極のうち非交差開口部に、二酸化シリコン,五酸化タンタル、若しくは、窒化シリコンからなる誘電体膜を形成する。櫛形電極の非交差開口部の音速をVf、櫛形電極の交差部の音速をVmとした場合、Vf=Vmとなるように誘電体膜を形成する。
請求項（抜粋）：
圧電性基板上に金属膜からなる、櫛形電極と上記櫛形電極の両側に反射器を有する単一または複数個の弾性表面波共振子をバスバーにより直列に接続した弾性表面波共振子において、上記櫛形電極の非交差開口部に誘電体膜を形成し、上記櫛形電極の非交差開口部の音速と櫛形電極の交差部の音速が等しくなるように誘電体膜を形成したことを特徴とする弾性表面波共振子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H03H 9/145 C
, H03H 9/25 Z
