ウェーハの研磨装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：綿貫隆夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-125141
公開番号（公開出願番号）：特開2002-373874
出願日： 2000年12月04日
公開日（公表日）： 2002年12月26日
要約：

【要約】【課題】ウェーハ加工中に研磨布等の研磨面に変形や磨耗等の発生を可及的に防止し、研磨布等によって形成される定盤の研磨面の平坦性を好適に保ち、ウェーハの研磨精度を向上できると共に稼働効率の優れたウェーハの研磨装置を提供する。【解決手段】ウェーハを保持する保持装置10が、内側ヘッド部材20と、外側ヘッド部材30とを有し、内側ヘッド部材20には、ウェーハ12が保持されるウェーハ保持盤22と、ウェーハ保持盤22を吊持すると共にウェーハ加圧用圧力室25を形成する弾性吊持部材24とが備えられ、外側ヘッド部材30には、内側ヘッド部材20を二重に囲むように外周側部30aと中間周側部33とが設けられると共に、ウェーハ保持盤22を囲むようにリング状に形成されたドレッサ用部材36と、外周側部30aと中間周側部33との間に両者に固定されて配され、ドレッサ用部材36を吊持すると共にドレッサ加圧用圧力室35を形成する帯リング状弾性部材34とが備えられ、ウェーハ加圧用圧力室25へ所定圧力の流体を供給し、ドレッサ加圧用圧力室35へ所定圧力の流体を供給する加圧手段28を備える。

請求項（抜粋）：

ウェーハを保持する保持装置と、該保持装置に保持されたウェーハの被研磨面を研磨する研磨面が形成された定盤とを備え、前記保持装置と前記定盤とを相対的に運動させてウェーハの被研磨面を研磨するウェーハの研磨装置において、前記保持装置が、凹部が前記定盤の研磨面に向かって開かれて設けられた内側ヘッド部材と、該内側ヘッド部材を内蔵する凹部が前記定盤の研磨面に向かって開かれて設けられた外側ヘッド部材とを有し、前記内側ヘッド部材には、該内側ヘッド部材の前記凹部内に配され、ウェーハが保持される保持面を有するウェーハ保持盤と、前記内側ヘッド部材と前記ウェーハ保持盤との間に両者に固定されて配され、前記ウェーハ保持盤を、内側ヘッド部材に対して上下方向等へ移動することを許容して吊持し、前記内側ヘッド部材の内部を前記ウェーハ保持盤と共に画してウェーハ加圧用圧力室を形成する弾性吊持部材とが備えられ、前記外側ヘッド部材には、前記内側ヘッド部材を二重に囲むように、外周側部と、該外周側部と前記内側ヘッド部材の外周部との間に位置する中間周側部とが設けられると共に、前記定盤の研磨面をドレッシングするため前記ウェーハ保持盤を囲むようにリング状に形成されたドレッサ用部材と、前記外周側部と前記中間周側部との間に両者に固定されて配され、前記ドレッサ用部材を、外側ヘッド部材に対して上下方向等へ移動することを許容して吊持し、前記外側ヘッド部材の内部を画してドレッサ加圧用圧力室を形成する帯リング状弾性部材とが備えられ、前記ウェーハ加圧用圧力室へ所定圧力の流体を供給し、前記ウェーハ保持盤を介してウェーハを前記定盤の研磨面に押圧するためと、前記ドレッサ加圧用圧力室へ所定圧力の流体を供給し、前記ドレッサ用部材を前記定盤の研磨面に押圧するための加圧手段を備えることを特徴とするウェーハの研磨装置。

IPC (7件)：

H01L 21/304 622 , H01L 21/304 , B24B 37/00 , B24B 37/04 , B24B 53/00 , B24B 53/02 , B24B 53/12

FI (7件)：

H01L 21/304 622 M , H01L 21/304 622 R , B24B 37/00 A , B24B 37/04 E , B24B 53/00 A , B24B 53/02 , B24B 53/12 Z

Fターム (18件)：

3C047AA01 , 3C047AA34 , 3C047BB01 , 3C047BB16 , 3C047EE02 , 3C047EE11 , 3C058AA07 , 3C058AA12 , 3C058AA14 , 3C058AA19 , 3C058BA04 , 3C058BA05 , 3C058BB02 , 3C058BB03 , 3C058BC01 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA17

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