特許
J-GLOBAL ID:200903084201052739
改良真空ポンプ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中村 稔 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-151478
公開番号(公開出願番号):特開平10-089285
出願日: 1997年05月06日
公開日(公表日): 1998年04月07日
要約:
【要約】【課題】 ロータと関連した多段ポンプ作用の使用によって実質的により高い圧縮が得られる真空ポンプを提供することにある。【解決手段】 ロータと、ロータを回転させるようになったステータ本体とを有し、ロータがその側に環状列に位置した一連のブレードを有し、ステータがブレードが回転することができる環状チャンネルを有し、環状チャンネルがブレードのために厳密な間隙をもたらす減少した断面を有するチャンネルの小部分を除いて、個々のブレードの断面積よりも大きい断面積を有する、再生タイプの真空ポンプにおいて、ロータはその側に同心の環状列に位置した少なくとも2連のブレードを有し、ステータは環状列のブレードが回転することができる対応した多数のチャンネルを有し、ポンプによって排気されるガスが通ることができる連続通路を形成するためにチャンネルをリンクする手段が設けられている。
請求項(抜粋):
ロータと、ロータを回転させるようになったステータ本体とを有し、ロータがその側に環状列に位置した一連のブレードを有し、ステータがブレードが回転することができる環状チャンネルを有し、環状チャンネルがブレードのために厳密な間隙をもたらす減少した断面を有するチャンネルの小部分を除いて、個々のブレードの断面積よりも大きい断面積を有する、再生タイプの真空ポンプにおいて、ロータはその側に同心の環状列に位置した少なくとも2連のブレードを有し、ステータは環状列のブレードが回転することができる対応した多数のチャンネルを有し、ポンプによって排気されるガスが通ることができる連続通路を形成するためにチャンネルをリンクする手段が設けられている、再生タイプの真空ポンプ。
IPC (2件):
FI (2件):
F04D 19/04 D
, F04B 37/14
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (4件)
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特開平2-264196
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特開平3-043696
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特開平3-182697
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