レーザ加工装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小池晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-040555
公開番号（公開出願番号）：特開平8-238583
出願日： 1995年02月28日
公開日（公表日）： 1996年09月17日
要約：

【要約】【構成】励起用レーザダイオード11は、励起光を出射する。第2高調波発生ユニット12は、励起光の照射を受けて波長532nmのレーザ光である第2高調波光を発生する。光学的切換部15は、第2高調波光を光学的に切り換える。第4高調波発生ユニット21は、光学的切換部15で切り換えられた上記第2高調波光を用いて波長266nmのレーザ光である第4高調波光を発生する。【効果】占有スペース、価格、ランニングコストの増大を抑えることができ、小型化及び低コスト化を実現できる。

請求項（抜粋）：

励起光を出射する励起用光源と、上記励起光の照射によりレーザ光を発生するレーザ光発生手段と、上記レーザ光を光学的に切り換える光学的切換手段と、上記光学的切換手段で切り換えられた上記レーザ光を用いて高次高調波光を発生する高次高調波発生手段とを有することを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (3件)：

B23K 26/00 , B23K 26/06 , G02F 1/37

FI (3件)：

B23K 26/00 N , B23K 26/06 Z , G02F 1/37

前のページに戻る