特許
J-GLOBAL ID：200903084209010377
感光性ポリイミド前駆体組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 博光 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-099576
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308730
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】硬化および現像による膜減りが少なく、ワニスでの保存安定性に優れ、基板に対して密着する。【構成】一般式6で表され、ポリイミド前駆体及び光照射により酸を発生する化合物を含む感光性ポリイミド前駆体組成物。(一般式6において、一般Xは式6-1で示される構造単位mモルおよび一般式6-2で示される構造単位nモルからなり、mおよびnは下記式7で示される、高分子鎖であり、Zは式8,10等である。また、R1は独立に4価の有機基であり、R2は独立に少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基か、又は一般式14で表されるポリシロキサン基であり、R3は式15,16,17または18で表され、R4は炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基もしくは炭素数7〜12のアルキル置換フェニル基を表し、R5は炭素数1〜6のアルキル基を表す。)
請求項（抜粋）：
下記一般式(1)【化1】で表されるテトラカルボン酸二無水物Aモル、下記一般式(2)【化2】で表されるジアミンBモルと、下記一般式(3)【化3】で表されるアミノシランCモルとを、下記式(4)および式(5)【数1】【数2】の関係が成立するように反応させて得られる下記一般式(6)【化4】で表され、30°CでのN-メチル-2-ピロリドン中で測定された対数粘度数が0.1〜5.0dl/gであるポリイミド前駆体および光照射により酸を発生する化合物を含む感光性ポリイミド前駆体組成物、{ただし、一般式(1)〜(6)において、Xは一般式(6-1)【化5】で示される構造単位mモルおよび一般式(6-2)【化6】で示される構造単位nモルからなる下記式(7)【数3】で示される関係を有する高分子鎖であり、Zは式(8)、(9)、(10)、(11)、(12)または(13)【化7】【化8】【化9】【化10】【化11】【化12】であり、また、R1は独立に4価の有機基であり、R2は独立に少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基か、または下記一般式(14)【化13】(ただし、ここでpは1〜100の数であり、R3およびR4は以下に示すとおりである)で表されるポリシロキサン基であり、R3は独立に下記一般式(15)、(16)、(17)または(18)【化14】【化15】【化16】【化17】(ただし、ここにsは1〜4の整数を表す)で表され、R4は独立に炭素数1〜6のアルキル基、フェニル基もしくは炭素数7〜12のアルキル置換フェニル基を表し、R5は独立に炭素数1〜6のアルキル基を表す。}。
IPC (4件)：
G03F 7/038 504
, C08L 79/08 LRB
, G03F 7/075 511
, H01L 21/027
